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累積800臺以上的市場有成績，ウシオ基板用代理ミティ/投影曝光裝置的陣容。在專用開發的高輸出燈、公認的光學技術的投影鏡片，實現高效率實現高清晰度的暴光。
要素，【要素技術】
世界市場份額No，1超高壓UV燈
以高高均勻度為自豪的獨自照射光學
不看其他的大面積投影鏡頭
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產品名稱：USHIO牛尾 卷to輥投影曝光裝置“UFX系列”

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